排氣升溫、滲碳（包括強滲與擴散）、降溫冷卻等是氣體滲碳、碳氮共滲工藝工程的三個階段。在不同的階段應分別加以控制是因為各個階段的目的和要求不同。要使爐溫快速恢復到規定的滲碳、碳氮共滲溫度必須進行排氣升溫，零件在裝爐后進行排氣升溫階段，裝爐后爐溫大幅度下降，同時有大量空氣進入爐內，因此要盡快排除進入爐內的空氣，防止零件產生氧化。加大甲醇或富化氣的供給量可增加排氣速度，使爐內較快地形成還原性氣氛或滲碳性氣氛。在爐溫低于600～650℃時盡量不要向爐內供應保護氣體，防止燃氣爆炸。供氣量的多少應根據爐子的容積來確定。排氣階段的時間，小型工件通常是爐子達到滲碳溫度后再延續30～60min，以便完全清除爐內的二氧化碳、水、氧氣等氧化脫碳性氣體。對于大中型工件僅僅考慮排除爐內的氧化性氣氛還不夠，更要注意工件的到溫時間和均溫時間。這個時間往往被忽略，應該引起重視。這個時間可以按照下列公式計算：T=KxW ( 2-14)式中T-工件的到溫時間，min；
　　K-綜合因素，min/mm;圓柱體時K=3.5，板類件時K=4；
　　W-幾何指數，圓柱體時W=(0. 167～0.25)×D(長徑比大時取上限值)，板類件時　　W=(0.167～0.5)×D(厚或長與寬之比大時取上限)；D為工件有效尺寸，mm。在制定不同爐型的控制氣氛熱處理工藝時，就會遇到計算保護氣氛的換氣量或供應量問題。由于理論計算較復雜，一般有兩種方式：一種是經驗公式；另一種是容積與用氣量的關系經驗數據。必須注意的是，計算換氣倍數是指在標準溫度下的倍數，不是指在工作溫度下的換氣倍數。對于滴定器供應的液體體積按100滴-3.8-4.2mL計算。液體滲劑的供應量應該換算為標準氣體來進行計算。本文參考《熱處理工藝問答》一書。